ダイシング
標準ウェーハシリコンダイシング 4″、6″、8″、12″インチウェーハ
標準ガラスダイシング 4インチ、6インチ、8インチ、12インチ基板
大型ガラスダイシング300×400mm、500×600mm。
石英、アルミナダイシング
ダイヤモンドスクライビング
SiC, AlN, InP ダイシング
厚いガラスのダイシング
ステルスレーザーダイシング
ドライプロセス
ダストなし
欠けがないこと
六角形や八角形などの多角形ダイによるMEMSウェーハのステルスダイシング
ダイシング前のバックグラインドが可能
金属 Cu、SUS、Alなど
検査、チップソーティング、トレイパッキング
