ナノインプリンティング／ナノインプリントリソグラフィー
ナノインプリントは、50nmのナノ微細構造を最も安価に作ることができる方法
ナノインプリントの種類
UVナノインプリンティング
ソフトモールドベースUVナノインプリンティング
UV硬化型ポリマーやレジストにインプリント
ソフトモールドを使用したプロセスは、大量生産に適しており、高価なマスターモールドの破損を防ぐことが可能
大型ナノインプリント ～500x500mm
高屈折率NILレジスト
基板
モールド/マスター
UV
UV
剥離またはデモールド
ナノパターン
熱ナノインプリント
ポリマーをガラス転移温度以上に加熱し、モールドに押し付けて、ポリマーにパターンを転写します。
代表的な基板：PMMA、PC、PETなど
利用可能なサービス
マスターモールドの製作：Si、石英、Ni、高分子など
ナノインプリント
ドライエッチング
レジスト残層を除去するためのアッシング
モールド洗浄
お客様のアプリケーションに合わせたナノインプリント
光学
マイクロレンズアレイ（MLA）、メタサーフェス
DOE、
VR/AR用導波路
ヘッドアップディスプレイ（HUD）
ファイバーフォトニクス
グレーティング
小型カメラ用メタレンズ
無反射構造（蛾の眼）
マシンビジョン
バイオメディカル
DNAシーケンシング用ナノポア
LSPRベースのバイオチップ
ナノシーブ
セキュリティ
紙幣、切符などのマイクロナノ構造