ナノインプリント/ナノインプリントリソグラフィー
ナノインプリントは、50nmのナノ微細構造を最も安価に作ることができる方法
ナノインプリンティングの種類
UVナノインプリント
ソフトモールドによるUVナノインプリント
UV硬化型ポリマーやレジストにインプリント
ソフトモールドを使用したプロセスは、大量生産に適しており、高価なマスターモールドの破損を防ぐことが可能
大型ナノインプリント ~500x500mm
高屈折率NILレジスト
基板
モールド／マスター
紫外
紫外
離型・脱型
ナノパターン
熱ナノインプリント
ポリマーをガラス転移温度以上に加熱し、金型に押し付けることで、ポリマーにパターンを刻印させる。
代表的な基材 PMMA、PC、PETなど。
利用可能なサービス
マスターモールドの製作：Si、石英、Ni、高分子など
ナノインプリント
ドライエッチング
レジスト残層を除去するためのアッシング
金型洗浄
お客様のアプリケーションに合わせたナノインプリント
光学系
マイクロレンズアレイ（MLA）, メタサーフェス
DOEだ、
VR/AR用導波管
ヘッドアップディスプレイ（HUD）
ファイバーフォトニクス
グラッディング
コンパクトカメラ用メタレンズ
反射防止構造（モスアイ）
マシンビジョン
バイオメディカル
DNAシーケンス用ナノ細孔
LSPRベースのバイオチップ
ナノシーブス
セキュリティ
紙幣、切符などのマイクロナノ構造