TGV（スルー・ガラス・ヴィア）製作

コンフォーマルCu

TGVは、コスト効率の高い先進的なウェーハパッケージング（2.5D&3D）において重要な役割を果たすことができます。
ガラスはシリコンに比べて以下のような利点がある。
- 高抵抗値
- 電気的損失が少ない
- CTE調整可能（シリコンよりも有機パッケージ基板とのCTEマッチングが良い）
- RFアプリケーション用低周波損失（低損失タンジェント）
- 光学的透明性

私たちは、以下のような先進的なTGV（Through Glass Via）微細加工を提供しています。

精密直径

直径20µmを実現
同一基板上に様々な直径のビアを組み込むことができる。
基板の反対側で異なる直径も可能です。(例えば、片面は30μm、もう片面は60μm）。

汎用性の高いビアシェイプ：

砂時計型、ストレート型、テーパー型など、直径要件に基づくさまざまなビア形状に対応

基板サイズの柔軟性：

標準的なウェーハサイズ（100mm、200mm、300mm）から大型パネルサイズ（最大約510x510mm）まで対応。

多様なガラス・タイプ
- ホウケイ酸ガラス、ソーダ石灰ガラス、溶融シリカ（石英）、サファイア、無アルカリガラス。
超薄型基板との互換性：

50µmまでの薄型基板に対応し、小型で最先端デバイスへの組み込みが可能。

高いアスペクト比：

最大1:10のアスペクト比を実現し、先端エレクトロニクス・アプリケーションの高密度相互接続をサポート。

革新的なTGVとBGVの製造：

TGVだけでなく、ブラインド・ガラス・ビア（BGV）も製造し、お客様のプロジェクトの可能性を広げます。

Cu充填（TGV）ビア

私たちは、高品質の結果を達成するために高度な電気めっき技術を利用して、ガラス貫通ビア（TGV）銅フィリングとメタライゼーションサービスを提供しています。このプロセスは、ビア内にチタン/銅（Ti/Cu）シード層を蒸着することから始まります。この重要なステップにより、その後の銅（Cu）電気めっきのための強固な基盤が確保され、コンフォーマルコーティングやボイドのない完全なビアフィルが可能になります。