車載用アプリケーション

MEMSベースセンサー

MEMSセンサーは、現在の自動車に不可欠な部品です。

これらのセンサーは、迅速な実装のためのエアバッグ、横滑りを防止するためのVDC（Vehicle Dynamic Control）、自律走行用のMEMS LiDARなどに搭載されています。

自動車に使用される代表的なMEMSを用いたセンサー以下になります。

• 加速度センサー/加速度計 

• 圧力センサー

• 温度センサー

• 湿度センサー

• ジャイロセンサ

• マイクロフォン

• ガスセンサー

• MEMSミラー

• マイクロフォン 

• MEMS LIDAR