高度な材料アプリケーション向けのアニールサービス

アニールは、性能と信頼性を向上させ、シリコンの固有特性を改良するために不可欠です。当社の専門サービスは以下を保証します。

• シリコンのストレス緩和

• ドーパントの効果的な活性化と移動。

• 欠陥の低減。

• 優れた成膜結果を実現するための緻密化処理。

当社の熱処理サービス内容:

窒素(N2)雰囲気下アニール

酸化の問題を回避しつつ、材料特性を向上させる制御された窒素雰囲気をご利用いただけます。

水素(H2)雰囲気下アニール

水素雰囲気下でのアニールにより、欠陥密度の低減と電気的特性の向上を実現します。均一性と所望の材料変質を保証します。

真空アニール

当社の真空アニールプロセスは、不純物の混入の可能性を最小限に抑え、高品質な最終製品を実現します。また、精密なドーパント活性化と欠陥管理にも対応します。

急速熱アニール（RTA）

アルゴンまたは窒素雰囲気下で最大約2000℃に達する、当社の高度なRTA（急速熱処理）サービスをご活用ください。迅速かつ正確な材料改質が可能です。

炭化ケイ素(SiC)ウェハアニール

炭化ケイ素材料専用に調整された当社のアニールサービスで、SiCウェハを最適化します。

SiCウェハ用カーボンキャップアニール

表面粗さを大幅に低減し、SiCウェハの全体的な品質と性能を向上させる特殊プロセスです。

あらゆるアニールニーズにおいて、当社の専門知識をご信頼ください。当社のアニールソリューションは、品質、信頼性、効率性をお届けします。

具体的なアニーリングニーズについては、お気軽にお問い合わせください。