MEMS · 半導体 · ナノ加工

日本発 ピュアプレイ
ファウンドリサービス

基板調達からダイシング済みチップまで、半導体・MEMS・先端パッケージング・マイクロファブリケーションを世界中のお客様に提供します。

少量試作から量産まで対応。24時間以内に技術担当者が対応。

日本の精密加工技術を、世界へ。スタートアップスピードで提供します。

1-5枚
最低ウェーハ枚数
4週間
平均ターンアラウンド
15+
20+ プロセス技術
300mm
最大シリコンウェーハ径
550×650mm
最大ガラス・フィルム基板
完全な製造プロセスポートフォリオ
エンドツーエンドの加工フロー

基板調達・マスク設計から前工程・後工程・最終組立まで、すべての工程を専任エンジニアチームが一貫して担当します。各工程をクリックすると、仕様と図面をご覧いただけます。

半導体コアプロセス
基板・
ウェーハ
Si, ガラス, SiC, GaN
設計・
マスク
GDS, DXF, Cr
フォト
リソグラフィ
Eビーム〜500×600mm
ナノ
インプリント
UV・熱NIL
薄膜
成膜
PVD, CVD, ALD, MBE
リフトオフ
金属パターン
電気
めっき
Cu TSV充填, LIGA
エッチング
ICP-RIE, DRIE >50:1
アニール
N₂/H₂/真空
イオン
注入
B, P, As, BF₂
CMP・
研削
Si, 酸化膜, Cu, ガラス
ウェーハ
洗浄
RCA/SC1/ピラニア
ダイシング・
パッケージング
ブレード・レーザー
先端パッケージング・集積
ウェーハ
ボンディング
Cu-Cu, 共晶
TSV
製造
高AR, Cu充填
TSV
リビール
裏面研削+CMP
TGV
製造
径10µm, パネル対応
RDL
製造
ファンイン, ファンアウト
パッケー
ジング
ダイボンド, ワイヤボンド
3D/2.5D
パッケージング
インターポーザ対応
AuSn
バンプ
PVDリフトオフ
バイオチップ・
マイクロ流体
PDMS · SU-8
SiPho
パッケージング
AuSn · 精密アライメント
なぜ株式会社ナノシステムズJPか
ピュアプレイファウンドリの優位性
🇯🇵

日本の精密さ、グローバルな展開

厳格な日本品質基準で製造。豊富な輸出物流ノウハウにより、世界中のお客様へお届けします。

競争力のあるリードタイム

プロセスの複雑さに応じて4〜11週間。米国・EU系ファウンドリと比較しても競争力ある納期を実現します。

🔒

IP完全保護

自社製品を持たないため、お客様の技術が競合することは一切ありません。ご依頼の最初の段階からNDA締結が可能です。

👨‍🔬

技術営業エンジニアへの直接アクセス

お問い合わせは技術営業担当とプロセスエンジニアが24時間以内に直接対応します。

🧪

カスタムプロセス開発

お客様のチームと共に、非標準プロセスの開発・最適化に取り組みます。新規材料から独自のスタック要件まで、クリーンルームで実現可能なものなら実現可能性の評価と実用的なプロセスフローの策定が可能です。

🧩

エンドツーエンド一貫加工

リソグラフィ・成膜・エッチング・ボンディング・TSVを組み合わせたマルチプロセスフローを、単一の統合ワークフローで対応します。

迅速なレスポンスと柔軟性

複雑なマルチプロセス製造を、リソグラフィ・成膜・エッチング・ボンディング・TSVを統合した単一の調整されたワークフローで提供します。スタートアップの速度でお届けします。

🔬

スモールロット対応

イノベーションはロット数で制限されるべきではありません。1〜5枚のウェーハからご注文いただけます。大学発スタートアップにも、グローバル企業にも同様の日本品質でご対応します。

👷

エンジニア同士のコミュニケーション

お問い合わせはテクニカルセールスエンジニアとプロセスエンジニアが直接対応します。24時間以内に実現可能性の審査を実施。初日からクリーンルームの専門知識に直接アクセスできます。

📊

プロジェクトの透明性

フォトリソグラフィからダイシングまで、各主要プロセスのマイルストーンで進捗報告をお届けします。プロジェクトがどこにあるか、常に把握できます。

完全な3D統合フロー -
DRIEからバンプ形成ウェーハまで

TSV/TGVおよび先端パッケージングプロセスは、3D IC統合・ガラス貫通ビアインターポーザ・MEMS-CMOSスタッキングに対応する完全な加工シーケンスを一括提供します。

1
DRIEビアエッチング、高アスペクト比シリコンビア形成
2
熱酸化 + TiN/Cuバリア・シード成膜
3
Cu電気めっき + 約400°Cアニール
4
50µmまで裏面研削 + ドライエッチによるTSV露出
5
SiN/SiO₂ CMP平坦化、プロセス対応面完成
6
RDL形成 + UBM成膜 + C4バンプ形成
応用分野
対応する用途
🧬

ライフサイエンス・診断

マイクロ流体チップ、ラボオンチップ、バイオセンサー、DNA解析基板、埋め込み型MEMS。

📡

RF・通信

GaAs/GaN HEMT、RF MEMSスイッチ、SAW/BAWフィルター、5Gコンポーネント。

🤖

ロボティクス・自動化

MEMS加速度センサー、ジャイロスコープ、圧力センサー、触覚センサー。

🔋

エネルギー・パワー

SiC/GaNパワーデバイス、エネルギーハーベスティングMEMS、太陽電池テスト構造。

🔭

フォトニクス・イメージング

シリコンフォトニクス、LiDAR、光MEMS、赤外線検出器、メタレンズ製造。

🚗

自動車・航空宇宙

高信頼MEMSセンサー、圧力トランスデューサー、慣性計測ユニット(IMU)。

お取引の流れ
お問い合わせからチップ納品まで

ご利用の手順

STEP 01

お問い合わせを送る

プロジェクト概要・プロセス要件・基板・ウェーハサイズ・数量・スケジュールをメールでお送りください。GDS/DXFファイルはこの段階では不要です。

STEP 02

技術審査・見積もり

プロセスエンジニアが設計の互換性と実現可能性を審査します。プロセス仕様・スケジュール・価格を含む詳細見積もりを7〜10営業日以内にご提供します。

STEP 03

NDA・発注確認

プロセストラベラーとウェーハ仕様を確認します。ご希望の場合はこの段階でNDAを締結します。発注後、製造スケジュールを調整し着工します。

STEP 04

製造・品質管理

定期的な進捗報告のもと全工程を実施します。CD-SEM・光学検査・電気試験によりウェーハを検査し、完全な検査報告書を提供します。

STEP 05

ダイシング・パッケージング

ご指定仕様に合わせてウェーハをダイシングします。個別チップのパッケージングまたはキャリア基板へのマウントを行います。

STEP 06

世界中へ納品

クリーンルームパッケージで、追跡可能な国際配送にてお届けします。プロセスの複雑さにより異なりますが、標準リードタイムは問い合わせから納品まで4〜8週間です。

プロジェクトを開始しましょう。
24時間以内にご返信いたします。

プロセス要件・基板・生産数量をお知らせください。ナノシステムズJPのエンジニアが24時間以内にご返信いたします。詳細見積もりは通常7〜10営業日以内(プロジェクト複雑さ・NDA要件による)。

スムーズな審査のため、以下をご記入ください:
基板材料・サイズ  ·  対象プロセス  ·  数量  ·  スケジュール  ·  設計ファイル(初回は不要)

sales@nanosystemsjp.co.jp · +81-3-5288-5569 · NDA対応可 · 7〜10営業日以内に詳細見積もり · 全データ厳重管理

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